微细转写装置 ST 系列

ST50

ST50

微细转写装置 ST50 能够精密控制冲压位置和冲压力。它是一种高精密转录器,可压印微米级至纳米级各种精细元件,这些元件在 IT、电子、生物科技、自然科学、环保和能源等行业至关重要。

功能

  • 可搭载高分辨率 XY 移动载物台,支持STEP和重复压印。(选配)
  • 可配备用于支持在真空中压印的真空室。(选配)
  • 可配备调整模具和基板的XYΘ基座和校准镜头。(选配)
  • 配备了高性能人机界面。
  • 可支持UV转写或热转写。

主要规格

主要规格
项目
模具尺寸* 最长 φ150 mm(UV 转写时)
冲压轴 冲压力设置范围 0 至 50 kN
行程设置范围 0 至 150 mm
速度设置范围 0.01 至 30 mm/s
温度控制* 最大200°C(热转写规格时)
尺寸(长 × 宽 × 高) 1.9 m × 1.0 m × 2.3 m
机器重量 2800 kg
洁净度 ISO 6 类(FED-STD209 1000 类)
电源 220/200 V AC,60/50 Hz
气源 0.6 MPa,300 NL/min

*请咨询

主要选配件
项目 内容
校正组件 通过搭载XYΘ基座和校准镜头能够进行模具和基板高精度校正。
XY载物台 通过高分辨率 XY 移动载物台实现S&R转写
真空室 常规真空度数:1000Pa,载物台可嵌入
紫外线照射装置 用于UV转写成型用
装载装置 用于搬入材料且搬出产品的机械手


*1) 如需其他规格,请咨询我们。
*2) 配备真空室时,需要供应清洁空气。

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