涂布设备基本技术

高精度薄膜涂布技术

高精度薄膜涂布技术 image

模头定位机构

涂布间隙定位　image — 涂布间隙定位

特征

采用伺服电机高精度定位
滚珠螺杆无反向间隙
没有发生塞子式的滞后现象

设定精度：1μm
重复再现精度：±0.5μm

模头定位机构 image

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