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高精度ダイシングマシンUSM-6E(AL)を開発(自動化運転に対応したワーク搬送装置を搭載)

2012.05.14

USM-6E(AL)

USM-6E(AL)

 当社は、このほど、パワーデバイス向けとして、加工性能に定評、実績のあるスライサーとダイシングマシンの操作性を融合した高精度ダイシングマシン「USM-6E」にφ6インチワーク搬送装置を搭載した「USM-6E(AL)」を新たに開発しました。

 ベース機の「USM-6E」はSiC、サファイア、LTCCに代表される脆性材料を精密に切断、溝入れする際のX軸の戻り速度を従来比3.2倍の800mm/secの高速化を実現しており、送り機構による直進性の改善により加工精度が向上するとともに、ダイシング時に発生するチッピングを減少させています。ブレードを複数枚取り付ける『マルチブレード加工』にも対応していることから、従来に比べ高い生産性を実現しています。ワーク搬送装置を追加することで自動化ができるようになり、より高い生産性を実現します。

 φ6インチワーク対応の搬送装置は25枚のワークを搭載可能なカセット方式を採用し長時間の自動化運転に対応可能としました。また、搬送装置には洗浄機能を搭載しており加工時に発生する切削クズを洗浄することが可能です。

 操作性を向上させるため、従来機に搭載している15インチのLCDタッチパネルを採用し、MMI(マン・マシンインターフェース)による直感的な機械操作、加工条件、搬送装置の制御を実現しました。
 従来機で定評のあるオートアライメント機能も搭載しており、廃油ゼロの送り軸ガイドの採用とともに環境面にも配慮しました。

 第41回機械工業デザイン賞において、日本産業機械工業会賞を受賞したUSM-6Eのコンセプトを踏襲し近未来をイメージした外観デザインとしています。

なお、価格は40,000千円で、初年度20台の販売を予定しています。

本機は、5月17日から19日まで当社沼津本社・工場および御殿場工場で開催される『第10回東芝機械グループソリューションフェア2012』に出展します。