芝浦セムテック、FE-SEM導入により高分解能観察評価を実現 (さまざまな材料のナノレベルの解析を短納期で実現)

2015年5月7日

ICP-MS


 当社グループの芝浦セムテック株式会社(本社沼津市大岡/社長 鈴木孝尚)は、このほど電界放出形走査電子顕微鏡(Field EmissionScanning Electron Microscope 以下 FE-SEM)の導入により、走査電子顕微鏡(Scanning ElectronMicroscope 以下SEM)では困難であったナノレベルの微粒子、表面状態、材料構造などの高分解能観察評価を実現しました。
 FE-SEMは、従来のSEMに比べて分解能が高く、明るい像が得られるため、微細構造だけでなく、微妙な凹凸など材料の表面形状の観察など多角的に観察することができます。また、低加速電圧の分解能も高く、低真空観察が可能であり、今まで導通処理(コーティング)を必要としていた高分子材料やセラミックスなどの絶縁物も、そのまま高分解能観察することができます。樹脂フィルムなどの熱影響により変形しやすい製品表面の微細形状等を変形なく正確に観察・評価することにより、製造工程の条件見直しや開発品の改善促進ができ、製品の安定した品質向上にも繋がります。また、エネルギー分散型X線分析装置(EDX)を組み合わせ、ナノ領域の元素情報を得ることができ、観察以外に元素分布も評価できます。

<主な特長>

  • 高倍率観察の実現
    従来のミクロン領域の観察から10万倍以上と分解能の高い、ナノ領域の観察・評価が可能となりました。
  • 絶縁物の観察
    従来コーティングが必要であった絶縁物を前処理なしにそのまま観察、元素分析が可能となりました。
  • 元素分析
    ナノ領域から広域の元素分布まで、幅広く材料の元素分析を行なうことが可能となりました。

 本調査は1試料 、1視野あたり、像観察:7,000円~、元素分析:15,000円~(試料調整は除く)を予定しており、5月21日から開催される東芝機械グループ ソリューションフェア2015にて評価事例を初出展します。

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