精密機器コアテクノロジー

スキルを積み重ねた熟練技能者によるキサゲ・ラップ加工がされた、超精密な定盤やスコヤなどの基準器および機械の基幹部品は、超精密加工機には欠かせない技術です。

厳選された超精密ニードルを配置したV-V有限ころがり案内は、摩擦を極小にしたため、微小うねりは20 nm以下を達成。高い位置決め精度に加え、正確な運動性能を有します。垂直軸には空気静圧によるプリロードを付与し、高精度・高剛性な案内を構成。高速・高精度・高剛性が要求される超精密加工機の基本性能を支える基幹技術となっています。

空気静圧による軸受と高性能のモータを組み合わせ、高精度・高速性・高剛性を実現すると同時に、長寿命・省エネルギーな基幹ユニットとして超精密加工・超高速加工を支えています。また、主軸ユニット単体としての販売もしています。

コアレスリニアモータおよびコア付リニアモータの両方の商品化に成功。特にコア付リニアモータ駆動では、当社独自開発の技術により、外乱要因に強い安定した高精度、高応答性を実現しています。

世界に先駆け1nmスケールフィードバック制御を実現。また、コア付きリニアモータの高ゲイン高精度駆動技術を確立し、安定した切削・研削加工と高い形状精度・面精度を実現しています。

本ロータリテーブルは、高剛性、高精度ころがり軸受に支持されており、偏荷重に強く、空気静圧軸受テーブルに準じる高精度を実現しています。
(0.02μｍ/S.P.A.M(注) )
(注) S.P.A.M.は Single Point Asynchronous Error Motion 法による測定です。

空気静圧に支持された回転・割り出しテーブルで、超精密加工を目的とする工作機械に活用可能な耐用寿命の長い主軸です。またアタッチメントとして、超精密部品の加工・計測にも幅広く利用できます。

空気静圧に支持された直動案内で、高い運動性能を得ることができます。低摩擦係数、長寿命の特長に加え、接触部分がないことから、磨耗粉の発生がなく高い対環境性を有しています。他の軸受形式に比し剛性・負荷容量が小さいため、負荷変動の少ない機器や測定器等に利用されています。

本方式による直動案内は、卓越したキサゲ技能と堅牢な構造により、精度・剛性・運動性・安定性において理想的な案内方式です。超精密工作機械、測定器などの案内部として、必要不可欠な基幹技術です。