微細転写装置(インプリント装置) STシリーズ

ST50

ST50

微細転写装置ST50は、高精度プレス位置制御・高精度プレス力制御を特徴とし、「IT・エレクトロニクス、バイオ・ライフサイエンス、環境・エネルギー」等のキーテクノロジーに必要とされるナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの様々な微細形状要素を高精度に転写する装置です。

特徴

  • ステップ&リピート(S&R)の転写に対応した高分解能XYステージ搭載可能(オプション対応)
  • 真空下での転写に対応した真空チャンバを搭載可能(オプション対応)
  • 型と基板とを高精度にアライメントするXYΘステージやアライメントカメラを搭載可能(オプション対応)
  • 高機能マンマシンインターフェース装備
  • UV転写または熱転写に対応可能

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仕様

主要仕様数値
項目 数値
モールドサイズ※ 最大 φ150mm(UV転写仕様時)
ブレス軸 ブレス力設定範囲 0~50kN
ストローク設定範囲 0~150mm
速度設定範囲 0.01~30mm/s
温度制御 最大200℃(熱転写仕様時)
外形寸法 L×W×H 1.9m×1.0m×2.3m
質量 2800kg
対応クリーン度 ISO Class6 (FED-STD209 Class1000)
電源 AC220/200V、60/50Hz
エアー源 0.6MPa、300NL/min

※別途ご相談となります。

主要オプション
項目 内容
アライメント XYΘステージとアライメントカメラ搭載によるモールドと基板との高精度アライメント
XYステージ 高分解能XYステージ搭載によるS&R転写
真空チャンバ 常用真空度1000Pa、ステージ内蔵可能
UV照射装置 UV転写成形用
ローディング装置 素材搬入および製品搬出用ロボット

注1)上記以外の仕様については別途ご相談となります。
注2)真空チャンバ搭載時には、クリーンエアーなどの供給が必要となります。

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