ウエハ搬送SR-624HC
概要
アーム長620mmのロボットです。
製品仕様
| クリーン度 | クラス100 （パーティクルサイズ0.3 μm） <備考：掃気100 L/min> |
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|---|---|---|
| アーム長 | 第1アーム | 310 mm |
| 第2アーム | 310 mm | |
| 動作範囲 | 第1軸 | ±205 deg |
| 第2軸 | ±160 deg | |
| 第3軸（Z軸） | 100 mm | |
| 第4軸(Z軸回転) | ±230 deg | |
| 最大速度 | 第1軸 | 274 deg/s |
| 第2軸 | 240 deg/s | |
| 第3軸（Z軸） | 200 mm/s | |
| 第4軸(Z軸回転) | 240 deg/s | |
| 負荷 | 最大可搬質量 | 35 kg |
| 位置繰返し精度 | X，Y（平面） | ±0.05 mm |
| Z軸（上下） | ±0.05 mm | |
| 4軸（Z軸回転） | ±0.05 deg | |
| 駆動方式 | 全軸ACサーボモータ | |
| ロボット本体 | 質量 | 220 kg |
| 塗装色 | ミスティホワイト | |
| ハンド用入出力信号 | 入力5点、出力2点 | |
| 位置検出方式 | アブソリュート方式 | |
| 付属ケーブル | 標準5 m（最大30 m） | |
| コントローラ |
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