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微細転写装置(インプリント装置) STシリーズ

ST50

ST50

微細転写装置ST50は、高精度プレス位置制御・高精度プレス力制御を特徴とし、「IT・エレクトロニクス、バイオ・ライフサイエンス、環境・エネルギー」等のキーテクノロジーに必要とされるナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの様々な微細形状要素を高精度に転写する装置です。

特徴

  • ステップ&リピートの転写に対応した高分解能XYステージ搭載可能(オプション対応)
  • 真空下での転写に対応した真空チャンバを搭載可能(オプション対応)
  • 転写面の圧力分布を均一にするSTヘッドを搭載可能(オプション対応)
  • 高機能マンマシンインターフェース装備

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仕様

主要仕様数値
項目数値
標準モールドサイズ※ 最大 φ68mm(UV転写成形時)
ブレス軸ブレス力設定範囲0~50kN
ストローク設定範囲0~150mm
速度設定範囲0.01~30mm/s
温度制御~300℃
外形寸法 L×W×H1.9m×1.0m×2.3m
質量2800kg
対応クリーン度ISO Class6 (FED-STD209 Class1000)
電源AC220/200V、60/50Hz
設備容量40A
エアー源0.6Pa、300NL/min

※別途ご相談となります。

ST50
主要オプション
項目内容
STヘッド※1転写面圧力分布均一化機構
XYステージ光分解XYステージ
真空チャンバ常用真空度1000Pa、ステージ内蔵可能
UV照射装置UV転写成形用
ローディング装置素材搬入および製品搬出用ロボット

※1 微細転写成形では、転写面の圧力分布を均一に保つことが重要です。
STヘッドは被転写素材の状態に合わせ、転写面圧力分布のバラツキを抑え、均一高転写率を実現します。

注1)上記以外の仕様については別途ご相談となります。
注2)真空チャンバ搭載時には、クリーンエアーなどの供給が必要となります。