製品情報Product Information

超精密非球面・自由曲面加工機 ULC/ULGシリーズ,LGシリーズ

ULC/ULGシリーズは、自由曲面(f-θレンズ)および非球面レンズやその金型を高効率かつ高精度に旋削・研削することを目的に開発されました。また、それぞれの用途に最適な機械構造とオプション構成を準備し、高いコストパフォーマンスを達成しています。

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特長

超精密空気静圧軸受主軸 (研削主軸、ワーク主軸)

高い回転精度

高速・高精度・高剛性・低発熱・高信頼性に加え、高い回転精度を実現

  • 研削主軸:20nm/SPAM
  • ワーク主軸:5nm/SPAM(注1)

(注1)測定はSingle Point Asynchronous Error Motion法によります

エコロジーへの配慮

多孔質空気静圧軸受を搭載し、安定した高品位な加工面を実現すると同時に、空気消費量を1/6 (当社従来比) に低減し、省エネルギーに貢献

超精密V-V有限ころがり案内

高繰り返し性、高加工能率

当社の高いラップ技術と厳選した超精密ローラーの組み合わせにより達成された超低摩擦案内は、微小送りの高い追従性、反転時の遅れを解消。また油・空気静圧案内に比較し、より高い剛性と安定性を実現するとともに同等の精度を確保

エコロジー、省スペースへの配慮

静圧案内に見られる流体の温度変化がなく、安定した精度を確保するとともに油圧ユニット等の必要がなく、省スペース、省エネルギーに貢献

送り駆動方式

最適設計

ボールネジ駆動方式とリニアモータ駆動方式を機種毎、軸毎に最適設計し、コストパーフォーマンスに配慮

高品位加工への配慮

ボールネジ駆動方式で問題となりがちな、ボールネジ回転により発生する応力、振れを相殺する特殊カップリングを開発、採用