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ウエハ搬送SR404HC

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概要

ウエハ搬送SR404HC

製品仕様

クリーン度クラス100
(パーティクルサイズ0.3μm)
<備考:掃気100L/min>
アーム長第1アーム200mm
第2アーム200mm
動作範囲第1軸±230°
第2軸±160°
第3軸(Z軸)100mm
第4軸(Z軸回転)±230°
最大速度第1軸274°/s
第2軸240°/s
第3軸(Z軸)200mm/s
第4軸(Z軸回転)240°/s
負荷最大可搬質量20kg(ハンド含む)
位置繰返し精度X,Y(平面)±0.05mm
Z軸(上下)±0.05mm
4軸(Z軸回転)±0.1°
駆動方式全軸ACサーボモータ
ロボット本体質量200Kg
塗装色ミスティホワイト
ハンド用入出力信号入力5点、出力2点
位置検出方式アブソリュート方式
付属ケーブル標準5m(最大30m)
コントローラ

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