高精度光学通信设备自动对准和装配机 UFA 系列
主要规格
UFA-120
| 装配方法 | 通过 YAG 激光焊装 | |
|---|---|---|
| 移动载物台结构 | 对准移动装物台 | X1、X2、Y1、Y2 Z2、C1、C2 |
| YAG 移动载物台 | W1、W2、W3 | |
| 透镜移动装物台 | R1、R2、R3 | |
| 编程分辨率 | X 轴、Y 轴、Z 轴：0.05μm C 轴： 0.001° |
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UFA-200
| 装配方法 | 通过紫外线照射粘附装配 | |
|---|---|---|
| 移动载物台结构 | 对准移动装物台 | X、Y、Z、C1、C2 |
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CCD 摄像机行程 | |
| 装置 | W | |
| 编程分辨率 | X 轴、Y 轴、Z 轴：0.05μm C 轴： 0.001° |
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| 对准间距 | 粗略对准：5.0 μm 精密对准：0.1μm |
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