微细转写装置 ST 系列
ST50-UV
功能
・专门用于UV转写。
・标配:能够转写到4英寸基板；选配情况可以对应6英寸基板。
・支持用树脂模具、石英模具等转写
・用树脂模具+高精度读取头的高追踪性
主要规格
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 转写对象 | 基板 |
| 目标基板尺寸 | 最长 4 英寸（选件：6 英寸） |
| 转写规格 | UV 转写 |
| 冲压力 | 最高 50 kN |
| 模具材料 | 树脂、石英 |
| 洁净度 | ISO 5 类（FED-STD209 100 类） |